トップ > 製品情報（FPDプロセス）

FPDプロセス

洗浄装置

  • 大型マスク洗浄装置（CLMC-）
  • 大型ブランクス洗浄装置（CLMC-）

本装置は、アシストハンドなどでマスクがロード・ポイントにセットされると、トラバーサにより処理部へロードします。

各処理は、薬液（酸）槽、スクラブ、純水リンス、SC-1槽、純水リンス槽、温水引上げ乾燥を行います。
処理は、バーチカル枚葉処理です。処理後は、アンローダに収納しアシストハンドなどでアンロードます。

特徴

  • マスク両面の確実な処理を行います。
  • 薬液は、温調、循環ろ過されます。
  • コンパクトな構造でフットプリントは、最小です。
  • その他　基板精密洗浄処理装置　及び　関連装置

詳しくは、別途お問合せください。

ページトップへ

剥離装置

本装置は、アシストハンドなどでマスクがロード・ポイントにセットされると、トラバーサにより処理部へロードします。
各処理は、剥離槽、純水リンス、SC-1槽、純水リンス槽、温水引上げ乾燥を行います。
処理は、バーチカル枚葉処理です。処理後は、アンローダに収納しアシストハンドなどでアンロードます。

特徴

  • マスク両面の確実な処理を行います。
  • 薬液は、温調、循環ろ過されます。
  • コンパクトな構造でフットプリントは、最小です。
ページトップへ